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发明名称 SPIN CHUCK FIXING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR200155049(Y1) 申请公布日期 1999.08.16
申请号 KR19960002725U 申请日期 1996.02.23
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 KIM, JIN-OUK
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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