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发明名称
METHOD OF FILLING CONTACT HOLE
摘要
申请公布号
KR100215912(B1)
申请公布日期
1999.08.16
申请号
KR19910023769
申请日期
1991.12.21
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.
发明人
KIM, JONG-KWAN
分类号
H01L21/283;(IPC1-7):H01L21/283
主分类号
H01L21/283
代理机构
代理人
主权项
地址
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