发明名称 CLEANING APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100215116(B1) 申请公布日期 1999.08.16
申请号 KR19970005560 申请日期 1997.02.24
申请人 SAMSUNG TECHWIN CO.,LTD. 发明人 KIM, JU-BONG
分类号 H01L21/34;(IPC1-7):H01L21/34 主分类号 H01L21/34
代理机构 代理人
主权项
地址
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