发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND ITS FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 KR100216275(B1) 申请公布日期 1999.08.16
申请号 KR19940014618 申请日期 1994.06.24
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 HASHIZUME, YASUSHI;SHINKAWATA, HIROKI
分类号 H01L21/28;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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