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发明名称 METHOD FOR FABRICATING MULTI-GATE
摘要
申请公布号 KR100216594(B1) 申请公布日期 1999.08.16
申请号 KR19960069817 申请日期 1996.12.21
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 LEE, JIN-HEE;YOON, HYUNG-SUP;PARK, BYUNG-SUN;PARK, CHUL-SOON;PHYUN, KWANG-UEE
分类号 H01L21/335;(IPC1-7):H01L21/335 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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