| 发明名称 |
Method for hydrogen passivation and multichamber hollow cathode apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2259499(A) |
申请公布日期 |
1999.08.16 |
| 申请号 |
AU19990022594 |
申请日期 |
1999.01.28 |
| 申请人 |
PACIFIC SOLAR PTY LIMITED |
发明人 |
ZHENGRONG SHI;MICHAEL BAZYLENKO |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/32;H01L21/265;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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