发明名称 APPARATUS FOR INJECTING REACTION GAS OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 KR200154507(Y1) 申请公布日期 1999.08.16
申请号 KR19950055203U 申请日期 1995.12.30
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KIM, JAE-HONG;SONN, DAL-HO;JUNG, JIN-SOO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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