| 发明名称 |
Menetelmä painolevyjen ja fotoresistien valmistamiseksi valopolymeroit uvan tallennusmateriaalin kuvan mukaista säteilytystä käyttäen |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FI103696(B) |
申请公布日期 |
1999.08.13 |
| 申请号 |
FI19910001979 |
申请日期 |
1991.04.24 |
| 申请人 |
AGFA-GEVAERT AG, |
发明人 |
ZERTANI,RUDOLF;MOHR,DIETER;MATTHIESSEN,PETER-J. |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/20;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/029 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
