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发明名称
Wafer-Prüfvorrichtung
摘要
申请公布号
DE4444185(C2)
申请公布日期
1999.08.12
申请号
DE19944444185
申请日期
1994.12.12
申请人
TOKYO SEIMITSU CO. LTD., MITAKA, TOKIO/TOKYO, JP
发明人
ISHIMOTO, TAKASHI, MITAKA, TOKIO/TOKYO, JP
分类号
G01R31/28;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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