发明名称 Wafer-Prüfvorrichtung
摘要
申请公布号 DE4444185(C2) 申请公布日期 1999.08.12
申请号 DE19944444185 申请日期 1994.12.12
申请人 TOKYO SEIMITSU CO. LTD., MITAKA, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ISHIMOTO, TAKASHI, MITAKA, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 G01R31/28;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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