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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Substraten
摘要
申请公布号 DE19744060(C2) 申请公布日期 1999.08.12
申请号 DE1997144060 申请日期 1997.10.06
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人 JUNG, THOMAS, DR., 38173 SICKTE, DE;KLAGES, CLAUS-PETER, DR. DIPL.-CHEM., 38102 BRAUNSCHWEIG, DE
分类号 C23C16/50;C23C16/54;H01J37/32;H05H1/24;(IPC1-7):H01J37/32;C23C14/34;H05H1/46 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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