发明名称 Laser Plasmavorrichtung
摘要
申请公布号 DE3856348(D1) 申请公布日期 1999.08.12
申请号 DE19883856348 申请日期 1988.01.23
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NISHIMAE, JUNICHI, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., 8-CHOME, AMAGASAKI-SHI, HYOGO, JP;YOSHIZAWA, KENJI, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., 8-CHOME, AMAGASAKI-SHI, HYOGO, JP;TAKI, MASAKAZU, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., 8-CHOME, AMAGASAKI-SHI, HYOGO, JP;UEDA, YOSHIHIORO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., 8-CHOME, AMAGASAKI-SHI, HYOGO, JP;YANAGI, TADASHI, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., 8-CHOME, AMAGASAKI-SHI, HYOGO, JP;IWATA, AKIHIKO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K., 8-CHOME, AMAGASAKI-SHI, HYOGO, JP
分类号 H01J37/32;H01S3/03;H01S3/0975;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/18;H01S3/097 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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