| 发明名称 |
HANDOTAICHITSUPUNO KYARYAATEEPUBONDEINGUHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5114266(A) |
申请公布日期 |
1976.02.04 |
| 申请号 |
JP19740085840 |
申请日期 |
1974.07.26 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
OKAMOTO AKIRA;ICHIKAWA OSAMU;YOKOGAWA SHUNJI |
| 分类号 |
H01L21/603;H01L21/58;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/603 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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