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发明名称
Verfahren zur Bildung von Siliziden bei der Herstellung von integrierten Schaltungen
摘要
申请公布号
DE69228525(T2)
申请公布日期
1999.08.12
申请号
DE1992628525T
申请日期
1992.12.10
申请人
AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US
发明人
MANOCHA, AJIT, ALLENTOWN, PENNSYLVANIA 18104, US;MERCHANT, SAILESH MANSINH, BETHLEHEM, PENNSYLVANIA 18017, US;SINGH, RANBIR, ALLENTOWN, PENNSYLVANIA 18052, US
分类号
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/285
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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