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发明名称 Behandlung eines Photoresists zwecks verbesserter Auflösung
摘要
申请公布号 DE69417901(T2) 申请公布日期 1999.08.12
申请号 DE19946017901T 申请日期 1994.11.16
申请人 MORTON INTERNATIONAL, INC., CHICAGO, ILL., US 发明人 CONRAD, CHARLES T., LAKE FOREST CALIFORNIA 92630, US
分类号 G03F7/027;G03F7/16;G03F7/38;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/16 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人
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