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发明名称 Elektrochemische Erzeugung von Silan
摘要
申请公布号 DE69507923(T2) 申请公布日期 1999.08.12
申请号 DE19956007923T 申请日期 1995.08.23
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 CADET, GARDY, ORANGE, NEW JERSEY 07050, US;MITCHELL, JAMES WINFIELD, SOMERSET, NEW JERSEY 08873, US;HOLLAND, RONALD ALEXANDRA, ORANGE, NEW JERSEY 07050, US;VALDES, JORGE LUIS, BEDMINSTER, NEW JERSEY 07921, US
分类号 C01B33/00;C23C16/44;C23C16/448;C25B1/00;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C01B33/00
代理机构 代理人
主权项
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