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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines vertikalen MOS-Transistors
摘要
申请公布号 DE19746901(C2) 申请公布日期 1999.08.12
申请号 DE19971046901 申请日期 1997.10.23
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 SCHULZ, THOMAS, 44577 CASTROP-RAUXEL, DE;AEUGLE, THOMAS, DR.RER.NAT., 81735 MUENCHEN, DE;ROESNER, WOLFGANG, DR.RER.NAT., 81739 MUENCHEN, DE
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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