| 发明名称 |
Device for coating substrates by means of cathode sputtering with a hollow target |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2310433(B) |
申请公布日期 |
1999.08.11 |
| 申请号 |
GB19970003784 |
申请日期 |
1997.02.24 |
| 申请人 |
* BALZERS PROZESS-SYSTEME GMBH |
发明人 |
MICHAEL * SCHERER |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/04;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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