带流量调节阀的流量检测器

摘要

本发明提供了带流量调节阀的流量检测器,适用于半导体制造装置等洁净环境,可在一体化的装置中,进行有效的流量计测和流量调节。它备有流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5。流量检测器本体1具有贯通内部的流体流路2,在该流体流路上配设着流量传感器10的检测部11;输入部件3和输出部件5具有与上述流量检测器本体1内的流体流路2连通的输入输出流路4、6。在输出部件5中设有流量调节阀21。通过密封部件将流路2、4、6接合,在离开上述流路的位置,用螺栓20将流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5固定连接。

主权项

1．带流量调节阀的流量检测器，其特征在于，备有流量检测器本体、输入部件及输出部件、流量调节阀；流量检测器本体具有贯通内部的流体流路，在该流体流路上配设着流量传感器；输入部件及输出部件具有与上述流量检测器本体内的流体流路连通的输入输出流路，安装在流量检测器本体的流体流路的输入侧和输出侧；流量调节阀设置在上述输入部件和输出部件中的任一方上或双方上，用于调节流动在它们流路中的流体的流量。