发明名称 Microwave processing apparatus and process for producing an inorganic dielectrique film
摘要
申请公布号 EP0626683(B1) 申请公布日期 1999.08.11
申请号 EP19940303826 申请日期 1994.05.26
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 TAKADA, KUNIO;SUZUKI, NOBUMASA;MIYAKOSHI, TOSHIMORI A
分类号 C23C16/511;G11B7/24;G11B7/26;G11B11/105;(IPC1-7):G11B7/26 主分类号 C23C16/511
代理机构 代理人
主权项
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