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发明名称
Microwave processing apparatus and process for producing an inorganic dielectrique film
摘要
申请公布号
EP0626683(B1)
申请公布日期
1999.08.11
申请号
EP19940303826
申请日期
1994.05.26
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
TAKADA, KUNIO;SUZUKI, NOBUMASA;MIYAKOSHI, TOSHIMORI A
分类号
C23C16/511;G11B7/24;G11B7/26;G11B11/105;(IPC1-7):G11B7/26
主分类号
C23C16/511
代理机构
代理人
主权项
地址
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