发明名称 Method of producing low dielectric ceramic-like materials
摘要
申请公布号 EP0849240(B1) 申请公布日期 1999.08.11
申请号 EP19970310047 申请日期 1997.12.12
申请人 DOW CORNING CORPORATION 发明人 BREMMER, JEFFREY NICHOLAS;LIU, YOUFAN
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):C04B41/50;C04B41/45 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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