| 发明名称 |
Methods and apparatus for cleaning,rinsing and drying wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2334145(A) |
申请公布日期 |
1999.08.11 |
| 申请号 |
GB19990000410 |
申请日期 |
1997.07.08 |
| 申请人 |
* SPEEDFAM CORPORATION |
发明人 |
GLENN E * PETERSON;ERIC * SHURTLIFF;CHAD * GOUDIE;JOHN * NATALICIO;GREGORY A * OLSEN |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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