发明名称 | 光敏组合物和图案形成方法 | ||
摘要 | 不使用铬化合物制得的光敏组合物。该组合物具有高清晰度和满意的感光度,并且不造成环境污染。光敏组合物含有一种起交联剂作用的水溶性叠氮化合物,化合物和在水溶性叠氮化物化合物存在下可交联的聚N-乙烯基甲酰胺。 | ||
申请公布号 | CN1225726A | 申请公布日期 | 1999.08.11 |
申请号 | CN98800568.9 | 申请日期 | 1998.04.27 |
申请人 | 东洋合成工业株式会社 | 发明人 | 渡边政春;枥泽哲明;今村缘;菊地英夫 |
分类号 | G03F7/008;G03F7/033;G02B5/20;C09D5/00;H01J9/227 | 主分类号 | G03F7/008 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 陈季壮 |
主权项 | 1.一种光敏组合物,其特征在于含有起交联剂作用的水溶性叠氮化物化合物和在水溶性叠氮化物化合物存在下可光交联的聚N-乙烯基甲酰胺。 | ||
地址 | 日本千叶 |