| 发明名称 |
Contactless sheet resistance measurement method and apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0690492(B1) |
申请公布日期 |
1999.08.11 |
| 申请号 |
EP19950480060 |
申请日期 |
1995.05.19 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
VERKUIL, ROGER LEONARD |
| 分类号 |
G01R27/02;G01R27/26;G01R31/265;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;G01R31/311;G01R31/28 |
主分类号 |
G01R27/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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