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发明名称 METHOD FOR DEPOSITING FLUORINE DOPED SILICON DIOXIDE FILMS
摘要
申请公布号 EP0934433(A1) 申请公布日期 1999.08.11
申请号 EP19970906669 申请日期 1997.02.20
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 DENISON, DEAN, R.;LAM, JAMES
分类号 C23C16/40;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/30;H01L21/02 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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