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发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH11218548(A) 申请公布日期 1999.08.10
申请号 JP19980021668 申请日期 1998.02.03
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG CORP 发明人 TANABE HATSUMI;HAMAZAKI YOSHIHIRO
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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