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发明名称 SINGLE CRYSTAL PRODUCING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11217293(A) 申请公布日期 1999.08.10
申请号 JP19980033525 申请日期 1998.02.02
申请人 KOMATSU ELECTRONIC METALS CO LTD;KOMATSU LTD;KOMATSU KOKI KK 发明人 KUROSAKA SHOEI;TOMIOKA JUNSUKE;KOBAYASHI MASAKAZU;YOSHIMOTO AKIHIRO;OJI NARUTOSHI;MIMURA KAZUHIRO;KADOTA HIROSHI;YOSHINADA YUTAKA;OKAMURA KENJI
分类号 C30B15/30;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/30 主分类号 C30B15/30
代理机构 代理人
主权项
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