| 发明名称 |
HIGH-QUALITY SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11217296(A) |
申请公布日期 |
1999.08.10 |
| 申请号 |
JP19980015530 |
申请日期 |
1998.01.28 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
OKUI MASAHIKO;EGASHIRA KAZUYUKI;TANAKA TADAMI;KURAGAKI SHUNJI |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B33/02;H01L21/02;H01L21/208;H01L21/322;H01L21/66;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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