| 发明名称 |
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| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11218547(A) |
申请公布日期 |
1999.08.10 |
| 申请号 |
JP19980020021 |
申请日期 |
1998.01.30 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
IWAMOTO TAKAFUMI;TAI AKIRA;YOSHIDA HIDEAKI |
| 分类号 |
G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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