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发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH11218549(A) 申请公布日期 1999.08.10
申请号 JP19980033521 申请日期 1998.02.02
申请人 MICRONICS JAPAN CO LTD 发明人 HASEGAWA YOSHIE
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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