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发明名称 TURBO MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH11218094(A) 申请公布日期 1999.08.10
申请号 JP19980036830 申请日期 1998.02.02
申请人 EBARA CORP 发明人 MIYAMOTO MATSUTARO
分类号 F04D19/04;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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