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发明名称 BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11218412(A) 申请公布日期 1999.08.10
申请号 JP19980035488 申请日期 1998.02.02
申请人 SHINKAWA LTD 发明人 HAYATA SHIGERU
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G02B7/00;H01L21/60;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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