| 发明名称 |
FLUID TREATING METHOD AND FLUID TREATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11218236(A) |
申请公布日期 |
1999.08.10 |
| 申请号 |
JP19980022030 |
申请日期 |
1998.02.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAEKI TOMONORI;TAKAHARA YOICHI;DAIROKU NORIYUKI;TANAKA YUICHIRO;AIUCHI SUSUMU;OKA HITOSHI |
| 分类号 |
F16K1/38;H01L21/304;(IPC1-7):F16K1/38 |
主分类号 |
F16K1/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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