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发明名称
摘要
申请公布号
JP2932488(B2)
申请公布日期
1999.08.09
申请号
JP19890064086
申请日期
1989.03.16
申请人
SONII KK
发明人
KADOMURA SHINGO
分类号
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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