发明名称 METHOD AND DEVICE FOR GENERATING PULSED EXCITATION ATOMIC BEAM AND PULSED ULTRAVIOLET LIGHT
摘要
申请公布号 JPH11211898(A) 申请公布日期 1999.08.06
申请号 JP19980019922 申请日期 1998.01.30
申请人 NATL RES INST FOR METALS 发明人 YAMAUCHI YASUSHI;KURAHASHI MITSUNORI;KISHIMOTO NAOKI
分类号 G21K5/00;H01J27/08;H05G2/00;H05H3/02;(IPC1-7):G21K5/00 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
主权项
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