发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11214702(A) 申请公布日期 1999.08.06
申请号 JP19980286051 申请日期 1998.09.22
申请人 FRON TEC:KK 发明人 SAI MOTONARI;SASAKI MAKOTO;RI KAZUMASA;YAMAMOTO KENJI
分类号 H01L21/28;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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