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发明名称 CONTACT SENSOR OF PROBER
摘要
申请公布号 JPH11214454(A) 申请公布日期 1999.08.06
申请号 JP19980029055 申请日期 1998.01.28
申请人 MICRONICS JAPAN CO LTD 发明人 OOSATO MORITOMO;NARAOKA SHUJI
分类号 G01R31/26;G01R1/06;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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