| 发明名称 |
FORMATION OF METALLIZED LAYER OF PEDESTAL FOR SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11211595(A) |
申请公布日期 |
1999.08.06 |
| 申请号 |
JP19980019211 |
申请日期 |
1998.01.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
SAITO HIROSHI |
| 分类号 |
G01L9/04;C23C14/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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