发明名称 TESTING APPARATUS FOR ELECTRONIC DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11211755(A) 申请公布日期 1999.08.06
申请号 JP19980019644 申请日期 1998.01.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HASEYAMA MAKOTO;MARUYAMA SHIGEYUKI;MIYAJI NAOKI;MORIYA SUSUMU
分类号 G01R31/26;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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