| 发明名称 |
METHOD FOR MODIFYING DIAMOND MATERIAL AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING DIAMOND MATERIAL MODIFIED BY THE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11214321(A) |
申请公布日期 |
1999.08.06 |
| 申请号 |
JP19980014263 |
申请日期 |
1998.01.27 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
TSUTSUI YASUMITSU |
| 分类号 |
G21G1/12;C30B29/04;C30B31/22;C30B33/04;H01L21/265;H01L29/861;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
G21G1/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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