| 发明名称 |
QUICK ANALYTICAL METHOD FOR TRACE AMOUNT OF PHOSPHORUS IN SILICON MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11211662(A) |
申请公布日期 |
1999.08.06 |
| 申请号 |
JP19980019503 |
申请日期 |
1998.01.30 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
FUJIMOTO KYOKO;SHIMURA MAKOTO |
| 分类号 |
G01N21/73;(IPC1-7):G01N21/73 |
主分类号 |
G01N21/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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