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发明名称 MARK DETECTING METHOD AND DEVICE, LIGHT EXPOSING METHOD AND APPARATUS, AND RECORDING MEDIUM HAVING MARK DETECTION PROGRAM RECORDED THEREIN
摘要
申请公布号 JPH11214287(A) 申请公布日期 1999.08.06
申请号 JP19980016200 申请日期 1998.01.28
申请人 NIKON CORP 发明人 SUGIMOTO MUNETAKE;MAEDA KOJI
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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