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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11214500(A) 申请公布日期 1999.08.06
申请号 JP19980010516 申请日期 1998.01.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUMINO JUN
分类号 H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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