发明名称 ALIGNER, LIGHT EXPOSURE CONDITIONS DETERMINATION, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11214295(A) 申请公布日期 1999.08.06
申请号 JP19980026384 申请日期 1998.01.23
申请人 NIKON CORP 发明人 IMAI YUJI
分类号 B82B1/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B82B1/00
代理机构 代理人
主权项
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