| 发明名称 |
MANUFACTURE OF POLYCRYSTAL LINE SEMICONDUCTOR FILM, MANUFACTURE OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY, AND LASER ANNEALER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11214306(A) |
申请公布日期 |
1999.08.06 |
| 申请号 |
JP19980014021 |
申请日期 |
1998.01.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MATSUNAKA SHIGEKI;FUJIWARA JUNJI;SUMINO TSUTOMU;KAKIZAKI KOJI;OKA KIYOSHI;KITAGAWA HISATAKE |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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