发明名称 Gasphasenbeschichtungsverfahren und Vorrichtung zur Gasphasenbeschichtung von Werkstücken
摘要
申请公布号 DE19803740(A1) 申请公布日期 1999.08.05
申请号 DE19981003740 申请日期 1998.01.30
申请人 MTU MOTOREN- UND TURBINEN-UNION MUENCHEN GMBH, 80995 MUENCHEN, DE 发明人 WALTER, HEINRICH, 86316 FRIEDBERG, DE
分类号 C23C10/06;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C10/06
代理机构 代理人
主权项
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