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发明名称 Chemical vapor deposition apparatus making use of liquid starting material
摘要
申请公布号 EP0548944(B1) 申请公布日期 1999.08.04
申请号 EP19920121888 申请日期 1992.12.23
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 HAYAKAWA, YUKIHIRO;KAWASUMI, YASUSHI;MAKINO, KENJI;KATAOKA, YUZO
分类号 C23C16/20;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/452;C23C16/455;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/18 主分类号 C23C16/20
代理机构 代理人
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