发明名称 A method for producing metal wirings on an insulating substrate
摘要
申请公布号 EP0570205(B1) 申请公布日期 1999.08.04
申请号 EP19930303669 申请日期 1993.05.12
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 YAMAMOTO, TOMOHIKO;MORIMOTO, HIROSHI;SHIMADA, YASUNORI
分类号 H01L21/3205;G02F1/136;G02F1/1362;G02F1/1365;G02F1/1368;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;H01L45/00;H01L49/02;H05K1/03;H05K3/38;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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