发明名称 |
A method for producing metal wirings on an insulating substrate |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0570205(B1) |
申请公布日期 |
1999.08.04 |
申请号 |
EP19930303669 |
申请日期 |
1993.05.12 |
申请人 |
SHARP KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
YAMAMOTO, TOMOHIKO;MORIMOTO, HIROSHI;SHIMADA, YASUNORI |
分类号 |
H01L21/3205;G02F1/136;G02F1/1362;G02F1/1365;G02F1/1368;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;H01L45/00;H01L49/02;H05K1/03;H05K3/38;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|