| 发明名称 |
SUBSTRATE, ITS MANUFACTURE, AND PATTERN FORMATION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11207959(A) |
申请公布日期 |
1999.08.03 |
| 申请号 |
JP19980016237 |
申请日期 |
1998.01.28 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
KANBE SADAO;SEKI SHUNICHI;FUKUSHIMA HITOSHI;KIGUCHI HIROSHI |
| 分类号 |
B41J2/045;B41J2/055;H01L21/02;H01L21/30;H05K3/06;H05K3/10;(IPC1-7):B41J2/045 |
主分类号 |
B41J2/045 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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