| 发明名称 |
SYNTHESIS OF SILICON CARBIDE SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11209198(A) |
申请公布日期 |
1999.08.03 |
| 申请号 |
JP19980012646 |
申请日期 |
1998.01.26 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD;NISHINO SHIGEHIRO |
发明人 |
SHIOMI HIROSHI;NISHINO SHIGEHIRO |
| 分类号 |
C30B29/36;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/36 |
主分类号 |
C30B29/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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