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发明名称 DEVICE FOR PULLING UP SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH11209196(A) 申请公布日期 1999.08.03
申请号 JP19980014419 申请日期 1998.01.27
申请人 MITSUBISHI MATERIALS SILICON CORP 发明人 FURUKAWA JUN;HARADA KAZUHIRO;YASUI TAKEMOTO;SUZUKI YOJI
分类号 C30B15/00;C30B29/06;(IPC1-7):C30B29/06 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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